營口，這座鐫刻著工業(yè)基因的城市，正以“硬核制造”托舉大國脊梁。從新一代超大型空分壓縮機，到硼鎂肥料國家標(biāo)準(zhǔn)起草；從為核電加熱元件國產(chǎn)化替代，到國產(chǎn)光刻機核心部件自主化——營口裝備制造企業(yè)以“納米級”精度，在國之重器的宏偉藍(lán)圖中刻下鮮明印記。這里集聚著13家國家級專精特新“小巨人”，137戶省級“專精特新”中小企業(yè)、13戶制造業(yè)單項冠軍企業(yè)，70%的規(guī)上企業(yè)參與國家重大工程配套，一條條智能產(chǎn)線輸送的不僅是零件，更是中國智造的底氣。

從今天開始《大國重器上的營口制造》欄目將深入這些企業(yè)生產(chǎn)車間一線，探訪那些“隱形冠軍”如何以技術(shù)創(chuàng)新破局“卡脖子”難題，見證傳統(tǒng)老工業(yè)基地如何借力數(shù)字化轉(zhuǎn)型煥新突圍。在這里，每一顆螺絲都在講述“大國制造”的匠心故事，每一次技術(shù)突破都在標(biāo)注東北全面振興新突破的新坐標(biāo)?？礌I口裝備，如何以鋼鐵之軀，鑄就強國之魂！

在全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)競爭日益激烈的背景下，加速突破“卡脖子”技術(shù)瓶頸，是科技企業(yè)的責(zé)任擔(dān)當(dāng)。作為高端裝備制造領(lǐng)域的“隱形冠軍”，遼寧希泰科技有限公司憑借在等離子體刻蝕設(shè)備領(lǐng)域的持續(xù)深耕，成功打破國外壟斷，成為支撐我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主可控“大國重器”的“配套脊梁”。

在光刻機的真空腔體內(nèi)，在核聚變裝置的超導(dǎo)磁體內(nèi)，甚至在中國空間站的精密儀器上，有一根看似普通的金屬管件——?焊接波紋管?，以“至柔至剛”的性能成為大國重器的“硬核擔(dān)當(dāng)”。走進(jìn)希泰的加工車間，工人們身著防護(hù)服，在顯微鏡下操作微束等離子焊接機，將厚度僅為0.05毫米的金屬片層層焊接。這項看似“繡花”的工藝，卻打破了國外對?半導(dǎo)體設(shè)備關(guān)鍵零部件?的壟斷。

遼寧希泰科技有限公司總經(jīng)理孫艷朝介紹說，焊接波紋管的變形量需精確到微米級，疲勞壽命超過1000萬次，任何細(xì)微誤差都會導(dǎo)致設(shè)備失效。 通過自主研發(fā)的?雙層高精密焊接技術(shù)?，企業(yè)不僅攻克了材料變形控制難題，還將產(chǎn)品壽命提高至國際標(biāo)準(zhǔn)的1.5倍，成為中微半導(dǎo)體、北方華創(chuàng)等頭部企業(yè)的核心供應(yīng)商。

遼寧希泰科技有限公司是一家專業(yè)生產(chǎn)集成電路設(shè)備關(guān)鍵零部件的高新技術(shù)企業(yè)，是國家集成電路零部件技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟成員單位，始終致力于為半導(dǎo)體芯片處理設(shè)備、離子注入設(shè)備、高端晶圓設(shè)備、光刻機設(shè)備、硅刻蝕設(shè)備等提供高精密零部件及一體化解決方案。實現(xiàn)了諸多集成電路設(shè)備關(guān)鍵零部件國產(chǎn)化，產(chǎn)品技術(shù)水平為國內(nèi)領(lǐng)先。公司已成為國內(nèi)半導(dǎo)體刻蝕和薄膜沉積設(shè)備細(xì)分領(lǐng)域關(guān)鍵零部件的精密制造商，尤其在刻蝕設(shè)備領(lǐng)域，公司是國內(nèi)少數(shù)已量產(chǎn)供應(yīng)7納米及以下國產(chǎn)刻蝕設(shè)備關(guān)鍵零部件的供應(yīng)商，直接與國際廠商競爭。

特別是最近這幾年的發(fā)展，企業(yè)一邊生產(chǎn)一邊研發(fā)一邊搞建設(shè)，企業(yè)的規(guī)模呈幾何式增長，員工由過去的近百名發(fā)展到近千人，員工的技術(shù)實力由原來的普通技能發(fā)展到現(xiàn)在既會編程又會設(shè)計，還能同時搞研發(fā)生產(chǎn)，使企業(yè)快速發(fā)展，迭代了核心技術(shù)。

從2010年成立時的單一普通波紋管生產(chǎn)，到如今覆蓋半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的高精密產(chǎn)品、?真空腔體、精密機加件、半導(dǎo)體分立器件?的全產(chǎn)業(yè)鏈布局，遼寧希泰的產(chǎn)值15年間增長超40多倍。這一飛躍源于企業(yè)對技術(shù)研發(fā)的持續(xù)投入：累計申請30余項專利，其中?微束等離子焊接工藝?和?真空密封技術(shù)?填補國內(nèi)空白，參與國家“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝”專項，助力國產(chǎn)光刻機核心部件自主化。在聚焦半導(dǎo)體領(lǐng)域同時，企業(yè)充分發(fā)揮精密零部件研發(fā)的扎實基礎(chǔ)及創(chuàng)新能力優(yōu)勢，積極在半導(dǎo)體、航空航天等產(chǎn)業(yè)開發(fā)新產(chǎn)品。

早在2020年，公司成功研發(fā)了CEPC粒子加速器屏蔽式焊接波紋管，解決了我國粒子加速器大科學(xué)工程中的技術(shù)難題，實現(xiàn)了產(chǎn)品國產(chǎn)化，受到了國內(nèi)外專家的一致好評。同年，獲得“遼寧省瞪羚企業(yè)”榮譽稱號。

“核心技術(shù)沒有捷徑！我們曾經(jīng)研發(fā)粒子加速器專用波紋管，連續(xù)6個月推翻上百種設(shè)計方案?，F(xiàn)在，無塵車間潔凈度超過手術(shù)室，檢測設(shè)備精度達(dá)到納米級。未來三年，將投入2億元擴建沈陽研發(fā)中心，重點攻關(guān)?光刻機用的超高真空組件?，目標(biāo)是實現(xiàn)半導(dǎo)體設(shè)備零部件國產(chǎn)化率超過90%?！睂O艷朝說。

記者手記

從實驗室里的“一根管”到大國重器的“頂梁柱”，遼寧希泰用15年時間詮釋了“中國智造”的韌性。在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主化的浪潮中，我市這家企業(yè)正以“隱形冠軍”的姿態(tài)，為全球高端裝備注入更多“中國芯”力量。