極大提升高端碳化硅、石英零部件的自主供應能力

11月14日，在沈陽經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)二十六號路，剛剛投產(chǎn)1個月的遼寧漢京半導體產(chǎn)業(yè)基地內(nèi)，高端精密設(shè)備正在高效運轉(zhuǎn)。遼寧漢京半導體材料有限公司副總經(jīng)理李慶甲向記者介紹：“市場需求迫切，項目建設(shè)期間就不斷有客戶來洽談。目前，碳化硅產(chǎn)品明年的訂單都已經(jīng)接滿了，石英產(chǎn)品訂單接到了明年6月?！?

新廠新品，為何如此緊俏？事實上，自去年3月開建，產(chǎn)業(yè)基地就備受業(yè)界的關(guān)注與期待。

遼寧漢京半導體是國內(nèi)首家碳化硅耗材生產(chǎn)商、國內(nèi)石英制品產(chǎn)業(yè)的頭部供應商，其自主研發(fā)的半導體設(shè)備用碳化硅、石英制品在客戶端已通過測試認證，在技術(shù)上實現(xiàn)了國產(chǎn)突破、填補了國內(nèi)行業(yè)空白。新建的產(chǎn)業(yè)基地包含兩條高端生產(chǎn)線，即國內(nèi)首條應用于10納米以下半導體先進制程的極高純石英生產(chǎn)線、國內(nèi)首條半導體碳化硅零部件生產(chǎn)線。

這兩條生產(chǎn)線產(chǎn)出的產(chǎn)品，解決的是我國半導體產(chǎn)業(yè)鏈斷點、卡點的問題，將極大提升國內(nèi)高端碳化硅、石英零部件的自主供應能力。以半導體碳化硅零部件為例，目前全球做同類產(chǎn)品的企業(yè)只有3家，供貨周期通常為2至3年，下游用戶常面臨采購難甚至采購不到的困境。產(chǎn)業(yè)基地投產(chǎn)后，該類產(chǎn)品的供貨周期有望縮短至1年以內(nèi)。

再看石英零部件，高純石英及其制品貫穿了半導體生產(chǎn)全過程，是確保產(chǎn)品質(zhì)量與性能穩(wěn)定的核心要素。李慶甲說：“我們的基地是目前全球規(guī)模最大的單體石英加工廠，擁有全球半導體石英精密度最高的生產(chǎn)線，多家芯片龍頭企業(yè)都會用到我們的產(chǎn)品，能夠為提高高端市場供應能力、保障國家產(chǎn)業(yè)安全貢獻一份力量?！?

安全必需、市場急需，省、市、區(qū)各相關(guān)部門協(xié)同發(fā)力、靠前服務，保障這一重點項目高質(zhì)高效建設(shè)。占地面積9.6萬平方米、規(guī)劃建筑面積12萬平方米的產(chǎn)業(yè)基地，開工6個月后就實現(xiàn)了所有廠房主體封頂。遼寧漢京半導體行政副總經(jīng)理趙陽說：“這為項目當年冬季開展內(nèi)部施工創(chuàng)造了條件、搶出了時間，今年10月投產(chǎn)，比預期至少提前了兩個月?！?

“目前生產(chǎn)線都開足了馬力加緊生產(chǎn)，兩個集控中心也同步投用，不只是車間的生產(chǎn)設(shè)備，整個廠區(qū)的水、電、氣等保障設(shè)備都全部聯(lián)網(wǎng)，實現(xiàn)數(shù)字化、智能化控制，生產(chǎn)和運行效率有了很大提升?！崩顟c甲告訴記者，“產(chǎn)業(yè)基地全部達產(chǎn)滿產(chǎn)后，可以實現(xiàn)年產(chǎn)值約12億元。”